应用方向：科研与小批量生产

产品优势：电子枪+热阻蒸发，膜厚监控 ，大尺寸片状样品蒸发镀膜

产品配置：

★样片数量及尺寸： 1片Φ400mm或4片Φ150mm或伞形工件架（用户定制）

★蒸发材料：金属；非金属；化合物等薄膜材料。

★蒸发腔体：高真空系统。

★蒸发不均匀性：≤±3%-±5％

★工件架：可旋转，转速可调

★加热：常规加热

★电子枪：E型，带XY偏转扫描

★电子枪坩埚：6穴，35cc

★膜厚监控功能：石英晶控膜厚在线监测与终点控制

★清洗功能：可选配离子源清洗

★检测与控制光学特性功能：可选配光控仪

★操作模式：全自动+半自动控制

类似产品：小样片蒸发镀膜（MEB-600）

设备详细结构与功能，请咨询销售工程师。